國研院奈米實驗室 - 元件實驗服務

設備編號 設備名稱 狀態 備註 更新 日期 聯絡 窗口 E04 Fusion O3 E04 乾式光阻去除機 OK 機台正常 10/18 段佑宗 7521 T03-2 Horizontal Furnace 水平爐管(Tube 02 Nitride) OK 機器正常。10/18 巫振榮 7698 邱文政 7569 T13-1 Vertical furnace 垂直爐管(Tube 01 ...

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